Як заповнити вакуумну камеру низьким тиском газу

У мене є вакуумна камера, яку хотілося б засипати 15 мТорр аргону. Проблема у виконанні цього полягає в тому, що більшість регуляторів тиску не можуть робити тиск, який є низьким. Чи існують регулятори, які чітко регулюють тиск рівня mTorr, або існує інший підхід до заповнення вакуумної системи при низькому тиску?

pressure vacuum

— Yly
джерело

якщо відомий об'єм камери, то його з'єднують з іншою камерою з аргоном в ній при відповідному тиску, температурі і відомого об'єму. коли відкриваєш клапан, тиск має зрівнятися з потрібним значенням.

— Solar Mike

Я припускаю, що ваша камера вже призначена для контролю за вакуумом. використовувати це для зворотного зв'язку з клапаном. Тим не менш, безсумнівно, з поличних систем треба робити саме те, що ви хочете.

— agentp

Найпростіший спосіб зробити це - створити свій власний.

Комерційно доступна пружина, з OD 9 мм, довжиною 19 мм і дротом діаметра. 1мм має швидкість 3,15 Н / мм, з довжиною стиснення 11,5 мм. Вставляючи найнижчий можливий регулятор перед вашим домашнім регулятором, встановіть велику діафрагму через камеру розширення діаметром 1м.

Потім помістіть цю комерційно доступну пружину на обидві сторони діафрагми. На 15 mTorr пружини повинні відхиляти керований 0,5 мм, який може бути використаний для регулювання тарілкового клапана. Ключ - це дуже велика камера розширення і дуже невелика пружина з високою точністю. Щоб запобігти переміщенню пружини, розширювальна камера повинна бути евакуйована, а невеликі пружини повинні бути розміщені обережно, щоб забезпечити, щоб краї не зв'язувалися, але вони не руйнувалися або не загиналися. Це не повинно бути проблемою, оскільки пружини добре розроблені, але при розробці розширювальної камери це потрібно пам'ятати.

— Mark
джерело

хіба це не залежить від зовнішнього тиску, який регулюється до надзвичайно високої точності?

— agentp

Саме в цьому сенсі велика камера розширення - помножити дуже маленькі сили на щось вимірне. Це також точка малої і чутливої весни, щоб вони могли перевести ці ще маленькі сили в те, що можна регулювати. Шнек легко може перетворити 0,5 мм лінійного руху на широкий діапазон сил.

— Mark

Я не бачу регулятора діаметром метр, який виходить на ринок. Найбільші постачальники інструментів у Каліфорнії, здається, не пропонують нічого діаметром більше декількох мм.

— Mark