Як виготовляється фільтр Bayer?


9

Виходячи з попереднього запитання про фільтри байєра, мені стало цікаво:

Як вони насправді виготовляються? Як вони наносять таку невелику кількість барвника на кожен піксель?

Моя найкраща здогадка - це якийсь хімічний травлення на основі оптики з подальшим барвником для ванни ... (на колір)


1
en.wikipedia.org/wiki/Color_filter_array має розділ про виробничий процес
dav1dsm1th

Добре місце! @ dav1dsm1th - як не дивно, власне вікі-фільтр Bayer не згадує цей процес, я прочитаю ...
Digital Lightcraft

Відповіді:


3

З реферату цієї статті Кольоровий фільтр масивів для CCD і CMOS датчиків зображення з використанням хімічно підсиленого термічно отвержденного попередньо фарбованого фоторезиста позитивного тону для літографії 365 нм

Діазонафтохінон-новолак фоторезист використовується для отримання цих фільтрів шляхом послідовного нанесення та малювання кожного кольорового шару.

Я розумію цю цитату, що процес полягає в наступному

  1. Фоторезист (полімер і сенсибілізаційний агент, який є відносно прозорим на видимому, але сильно поглинаючому УФ випромінюванні, починаючи з 450 нм) з доданим барвником (червоним, зеленим або синім), наноситься на поверхню датчика
  2. Над фоторезистом надівається металева візерунчаста маска
  3. Немаскувана область фоторезиста піддається впливу ультрафіолетового джерела світла, на яке перетворюється діазонафтохінон
  4. Маску знімають
  5. Оголений фоторезист розчиняється у водному розчиннику, не відкрита ділянка не розчиняється так швидко, і тому залишається
  6. 1-5 повторюються за допомогою різних барвників та різних масок

Дивіться en.wikipedia.org/wiki/Diazonaphthoquinone для опису того, як працює цей фоторезист.


Я підозрюю, що повинен бути крок випічки між 5 і 6 або після 6. Можливо, також буде етап випічки між 1 і 2.
Брайан Кубера

Приємне посилання - Однак статті зараз 16 років, тому враховуючи МАСИВНЕ збільшення щільності мікросхем ccd / cmos з цього моменту, це може бути не сучасним методом ... наприклад, чи фізично можливо створити металеву маску досить тонко для сьогоднішні фішки?
Digital Lightcraft

Це було масове збільшення? Я думаю, що щільність пікселів збільшилася приблизно в 10 разів. Тому розмір лінійної функції повинен був би зменшитись лише в 3 рази. Однак ви, мабуть, вірно вказали, що розміщення маски безпосередньо над фоторезистом, ймовірно, а не як це робиться. Набагато більше схоже на те, що маска зображується на фоторезисті і одночасно зменшується, як це було б необхідно для малювання електронних пристроїв датчика. Я відредагую відповідь, щоб це відобразити.
Брайан Кубера

Після подальшого розгляду, я думаю, що контактна маска, як я спочатку описала, скоріше використовується для малювання кольорового фільтра. Дозвіл металевої маски може бути кращим, ніж 100 нм. Розмір пікселів становить близько 1мм.
Брайан Кубера

Одне питання, яке я не включав, - це формування масиву мікрооб'єктивів, який, якщо він присутній, може відокремлювати або інтегрувати частину кольорового фільтра.
Брайан Кубера
Використовуючи наш веб-сайт, ви визнаєте, що прочитали та зрозуміли наші Політику щодо файлів cookie та Політику конфіденційності.
Licensed under cc by-sa 3.0 with attribution required.