1
Як заповнити вакуумну камеру низьким тиском газу
У мене є вакуумна камера, яку хотілося б засипати 15 мТорр аргону. Проблема у виконанні цього полягає в тому, що більшість регуляторів тиску не можуть робити тиск, який є низьким. Чи існують регулятори, які чітко регулюють тиск рівня mTorr, або існує інший підхід до заповнення вакуумної системи при низькому тиску?